Наноиндустрия #7-8/2018
Л.Раткин
Состояние и перспективы развития наноиндустрии в Российской Федерации Весной 2018 года в Государственной Думе (ГД) Федерального Собрания (ФС) РФ было проведено совещание "Состояние и перспективы развития наноиндустрии в Российской Федерации". В формате круглого стола депутаты ГД ФС РФ, представители академической и вузовской науки, промышленники и предприниматели обсудили законодательные инициативы, которые повысят эффективность реализации инвестиционных проектов и программ в нанотехнологической сфере. 10.22184/1993-8578.2018.11.7-8.520.524 Наноиндустрия #4/2016
В.Лучинин
Отечественная экстремальная ЭКБ: карбидокремниевая индустрия СПбГЭТУ "ЛЭТИ" Наиболее востребованной технологической возможностью при создании приборов на SiC по абсолютно доминирующей эпитаксиальной технологии является смена типа легирующей примеси в ростовом реакторе без его "разгерметизации" непосредственно в процессе эпитаксиального роста. Имеющийся у ЛЭТИ современный эпитаксиальный реактор позволяет реализовать данный процесс, включая автоматическую загрузку подложек. DOI:10.22184/1993-8578.2016.66.4.40.50 Наноиндустрия #6/2015
А.Трошин, А.Борухович
Редкоземельные металлы и новая физика Рассматривая развитие научно-исследовательских работ по физике и химии редкоземельных элементов и их соединений с неметаллами, прослеживается становление новых направлений исследований в физике твердого тела: магнитных полупроводников, слабой сверхпроводимости, сильно коррелированных систем и, наконец, спинтроники. DOI:10.22184/1993-8578.2015.60.6.42.49 Электроника НТБ #9/2014
В.Быков, К.Борисов, Ал.Быков, Ан.Быков, В.Котов, В.Поляков, В.Шиллер
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ КОМПЛЕКСЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИСТЕМ БЕСШАБЛОННОЙ ЛИТОГРАФИИ В статье изложен подход к созданию кластерных комплексов замкнутого цикла для разработки и мелкосерийного производства БИС- и СБИС-базы микро- и наноэлектроники с помощью систем бесшаблонной высокопроизводительной многолучевой электронной литографии и технологических комплексов сухой финишной очистки и планаризации с использованием ускоренных больших Ван-дер-Ваальсовых кластеров. "Гибкость" и адаптивность технологической линии под заданный тип технологического процесса обусловлены модульной конструкцией линии, объединенной единой сверхвысоковакуумной транспортной системой. Кроме технологических кластеров, технологическая линия может содержать метрологические и аналитические модули, модули коррекции топологии, обеспечивая разработки и малосерийное производство элементной базы наноэлектроники технологического уровня 22–14 нм. Наноиндустрия #4/2015
В.Вернер, Е.Кузнецов, А.Сауров
Закону Мура 50 лет: масштабирование элементов ИС В первой части серии публикаций, посвященных 50-летию закона Мура, рассмотрена связь масштабирования элементов ИС с реализацией закона Мура. DOI:10.22184/1993-8578.2015.58.4.22.38 Наноиндустрия #6/2014
В.Коледов
"Нанопальцы" для наноинженеров В России впервые создан инструментарий для исследователей и наноинженеров, который позволяет выполнять трехмерное манипулирование наночастицами. Работать с наноинструментами также просто и удобно, как с обычными элементами в макромире. Проект развивается Центром нанотехнологий и наноматериалов Республики Мордовия. Наноиндустрия #6/2012
А.Алексеев
Развитие инфраструктуры наноиндустрии Более пяти лет назад в Послании Федеральному Собранию Российской Федерации Президент России обозначил нанотехнологии как приоритетное направление науки и техники. ЗАО "НТО" последовательно проводит разработки по стратегически важным направлениям полупроводниковой наноиндустрии, обеспечивающим техническую и технологическую независимость России. Используя накопленный технологический опыт, а также новые возможности, "НТО" делает ставку на комплексную технологическую поддержку проектов заказчика Наноиндустрия #4/2011
С.Хохлявин
Какими будут стандарты для наноэлектроники? Нано – показатель инновационности технологий. Нанотехнологии для электроники – это массовое производство приборов и интегральных схем с минимальными размерами элементов от 100 до 1 нм, что позволяет изготавливать современные высокоэффективные устройства при экономии средств. Представлен краткий обзор проектов стандартов Технического комитета МЭК/ТК 113 и Института инженеров электротехники и электроники. Основная цель международной стандартизации – перенести инновации в наноэлектронике из научно-исследовательских лабораторий на информационный и телекоммуникационный рынки. Наноиндустрия #3/2011
Л.Раткин
Перспективы развития МЭМС-технологий 19 апреля 2011 года Русская ассоциация разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем (Русская Ассоциация МЭМС) провела в Москве Международный форум, на котором обсуждались современные технологии производства и перспективы развития МЭМС-устройств. Более двух десятков ведущих организаций представили результаты научных исследований по приоритетным направлениям отрасли. Наноиндустрия #1/2011
Н.Герасименко
Как готовить кадры для нанотехнологии Бурное развитие нанотехнологии, формирование и реализация национальных программ в этой области выдвинули в число первостепенных несколько принципиальных моментов. В частности, финансовое, организационно-административное, информационное, а также кадровое обеспечение этого направления практически с самого начала были поставлены на государственную основу, что, безусловно, благоприятно сказалось на развитии ситуации в целом.