Наноиндустрия - научно-технический журнал - Наноиндустрия - СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП КАК ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИНСТРУМЕНТ В ЗАДАЧАХ МЕТРОЛОГИИ И ИНСПЕКЦИИ СОВРЕМЕННОЙ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

Home

rus

Sign in

Nanoindustry

Editorial policy

Editorial collegium

Editorial board

Articles annotations

For authors

For reviewers

Publisher

TECHNOSPHERA

© 2001-2026
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Subscribe:

Print version

E-version

News

Issue #5/2026

A.S.Aglikov, A.A.Bagdyun, D.A.Kozodaev
SCANNING PROBE MICROSCOPE AS A METROLOGICAL AND INSPECTION INSTRUMENT IN MODERN MICROELECTRONICS INDUSTRY TASKS

Subscribe to the journal Nanoindustry to read the full article.

Readers feedback

Leave a feedback

Nanoindustry. Issue #5/2026